产品格兰维尔菲利普斯电离计控制器
型号332102
重量15.75千克
服务地区全国
质保六个月
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维修射频电源 型号APEX5513 Advanced Energy RPSC远程等离子体源维修MKS 美国ASTEX FI20045
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维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、
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射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。
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